技术优势

01

掌握超精密确定性抛光工艺

02

实现超精密复杂面形检测

03

擅长复杂面形光学元件加工

04

突破超大口径光学元件加工

半球元器件

磨抛后

2400万 品质因数
53% 品质因数均匀
≤0.02Hz 频率裂解
≤0.3μm 半球圆度
≤0.8μm 同轴度
2nm 表面粗糙度

修调酸洗后

可达6500万 品质因数
≤1mHz 频率裂解

铝反射镜

  • 7075、6061

    材料

  • Φ600mm以下

    尺寸

  • 优于λ/50RMS

    面型精度

  • 优于2.0nm

    表面粗糙度

单晶硅镜

  • 单晶硅

    材料

  • Φ600mm以下

    尺寸

  • 优于λ/100RMS

    面型精度

  • 优于1.0nm

    表面粗糙度


高精度气浮主轴

止推狭缝节流径向小孔节流 节流形式
110mm 回转中心高
不锈钢芯轴
青铜轴套
材料
集成式无刷
直驱电机
电机
80kg@0.7MPa 最大承载
180N/μm 轴向刚度
80N/μm 径向刚度
<25nm 回转精度
水冷 温度控制
10000 线 C 轴反馈