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技术优势
01
掌握超精密确定性抛光工艺
02
实现超精密复杂面形检测
03
擅长复杂面形光学元件加工
04
突破超大口径光学元件加工
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小磨头抛光机床
采用小尺寸抛光工具(聚氨醋、沥青盘、阻尼布等)对光学材料进行确定性去除的一种超精密抛光方法。加工精度:面形精度RMS优于λ/50@λ=632.8nm;表面粗糙度可达 0.5nm。查看详情 -
磁流变抛光机床
利用磁流变抛光液在梯度磁场中发生流变而形成的具有黏塑行为的柔性“小磨头”与工件之间具有快速的相对运动,使工件表面受到很大的剪切力,从而使工件表面材料被去除的一种确定性超精密抛光方法。加工精度:面形精度RMS优于λ/100@λ=632.8nm;表面粗糙度优于2.0nm。查看详情 -
离子束抛光机床
在真空条件下,将氩气 (Ar)、氪气 (Kr)、氙气(Xe)等惰性气体通过离子源电离产生具有一定能量的离子束流轰击工件表面,实现原子量级的确定性材料去除。加工精度:面形精度RMS和表面粗糙度均可达亚纳米精度。查看详情