| 基本信息 | 性能参数 |
设备体积 | 占地2.5m*2.5m*1.9m |
运动系统 | 三轴运动系统 |
X/Y/Z轴有效行程 | 360mm/360mm/360mm |
| 离子源 | IOT射频离子源（国产射频可选） |
加工束径 | 38mm、20mm、12mm、 8mm、4mm、2mm |
真空建立时间 | 主真空腔室≤60分钟； 副真空腔室≤15分钟； |
加工对象与材料 | 平面、球面、非球面、自由曲面； 金属、石英、微晶、单晶硅、 蓝宝石、碳化硅等 |
加工精度 | 可实现面形RMS<1nm超高精度加工 |
选配 | 定制化大尺寸束径； 毫米及亚毫米极小束径； 基于法拉第杯的定位与标定模块； 辅助工装输送模块 |
IBF300离子束抛光机床介绍
基本信息及性能参数
加工范围、精度
IBF300是针对∅300mm以下的光学元件设计的抛光装备，运动系统采用高刚度一体化设计隔离真空变形的影响，同时采用全局变函数补偿算法，具有高确定性、高稳定性和高收敛比等特点，可实现光学元件超高精度加工。
可加工的材料
· 金属铝反射镜，蓝宝石，碳化硅，微晶/熔石英，零膨胀玻璃，单晶硅，锗及其他光学材料
可加工的面形
· 平面、球面、非球面和自由曲面等。
· 平面、球面、非球面和自由曲面等。
加工精度
· 面形精度RMS和表面粗糙度均可达亚纳米精度
IBF300离子束
IBF2000离子束
IBF650离子束
加工现场
加工过程（动画）
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