单晶硅柱面镜
离轴单晶硅反射镜
单晶硅反射镜
球面/非球面单晶硅透镜
单晶硅镜介绍
加工范围及技术指标(可定制)
应用领域
产品特点
单晶硅具有密度小、无内应力、高均质性、高导热性等特性，是常见的红外透镜及反射镜材料。
公司自主开发的特有工艺，可实现平面、柱面、球面、同轴非球面、离轴非球面等各类面形的高精度高效加工。
· 航空航天
· 激光通信
· 光学成像
· 天文观测
· 各类红外光学系统
· 高能激光等领域
技术要求产品参数
材料单晶硅
尺寸Φ 600mm以下
面形精度优于λ/100RMS
表面粗糙度优于1.0nm


铝反射镜

光学玻璃透/反射镜

单晶硅镜

标准镜：长条镜

标准镜：平晶

半球元件

精密结构件

复杂曲面的快速加工
复杂曲面高精度面形抛光及检测
加工案例
+ 0.0414
+ 0.0490
- 0.0417
- 0.0547
wave
wave
项目
数值单位
PV
52.606
nm
RMS
7.034
nm
Power
0.000
wave
Size X
5.1
mm
Size Y
6.4
mm


项目
数值单位
PV
65.584
nm
RMS
10.451
nm
Power
0.000
wave
Size X
55.0mm
Size Y
55.0
mm


+ 0.04475
+ 0.0839
- 0.05974
- 0.1023
wave
wave
项目
数值单位
PV
65.811
nm
RMS
6.884
nm
Power
0.015
wave
Size X
160.1mm
Size Y
160.1
mm


项目
数值单位
PV
117.803
nm
RMS
9.100
nm
Power
-0.001
wave
Size X
162.5mm
Size Y
162.5
mm