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超精密加工装备
光学玻璃透/反射镜介绍
加工范围及技术指标(可定制)
应用领域
产品特点
使用确定性抛光工艺加工熔石英、微晶、K9等光学玻璃元件,可实现纳米级面形精度;其中,磁流变抛光工艺通过剪切力对材料进行去除,无正向压力,可抑制亚表面损伤的出现,是提高透镜激光损伤阈值的有效工艺手段。
·
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高能激光等领域
技术要求
产品参数
材料
熔石英 微晶K9等光学玻璃
尺寸
Φ
600mm以下
面形精度
优于λ/100RMS
表面粗糙度
优于0.5nm
铝反射镜
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/反射镜
单晶硅镜
标准镜:
长条镜
标准镜:平晶
半球元件
精密结构件
可加工材料适应性广
复杂曲面高精度面形抛光及检测
加工案例
+ 0.05222
- 0.41017
wave
项目
数值
单位
PV
292.599
nm
RMS
8.176
nm
Power
-0.015
wave
Size X
175.4
mm
Size Y
175.4
mm
全国统一服务热线
0731-85680929
地址:湖南省长沙市开福区青竹湖路1575号
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