标准镜:平晶介绍
加工范围及技术指标(可定制)
应用领域
应用场景
高精度参考平晶,用于高精度测量设备的标定和面形测量基准。
超精密光学加工、超精密机械加工、超精密测量
高精度测量设备的标定、高精度面形测量基准
技术要求产品参数
材料微晶玻璃
尺寸200mmx200mmx50mm以下
面形精度优于λ/100RMS
表面粗糙度优于0.5nm


标准镜:平晶

标准镜:长条镜

加工案例
+ 25.91
wave
- 26.24
项目
数值单位
PV
52.151
nm
RMS
5.304
nm
Power
7.033
wave
Size X
187.3
mm
Size Y
187.3
mm