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超精密光学元件
构建了纳米/亚纳米尺度为核心的超精密光学元件加工产线,典型制造光学元件包括复杂曲面铝反射镜、单晶硅反射镜、熔石英透镜、半球谐振子和大口径光学高精度加工,实现RMS:λ/50批量交付。
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为星载、机载、地基激光通信系统提供光学天线、后光路,平行光管,光学吊舱,导引头等各类光学系统产品和检测服务。光学系统涵盖反射式、透射式结构;光学系统材料可以选择微晶玻璃、石英、单晶硅、耐辐射玻璃、铝合金等,结构件材料可以加工铝合金、钛合金、镁合金、铝基碳化硅等;接受定制。
超精密加工装备
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构建以超高精度、高收敛比、高确定性为核心的高端离子束抛光装备制造产线,拥有多款货架装备型号:IBFTrim,IBF300、 IBF650、
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IBF1000和IBF2000,广泛应用于各类光学材料修形和半导体修调领域。
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