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光学装备

磁流变抛光机床

磁流变抛光机床

利用磁流变抛光液在梯度磁场中发生流变而形成的具有黏塑行为的柔性“小磨头”与工件之间具有快速的相对运动,使工件表面受到很大的剪切力,从而使工件表面材料被去除的一种确定性超精密抛光方法。
  • 可加工的材料包括但不限于

    铝、微晶、ULE、熔石英、BK7、K9、蓝宝石、SiC、单晶硅、锗以及其他光学材料。

  • 可加工面形

    平面、球面、非球面和自由曲面等

  • 加工精度

    面形精度RMS优于λ/100@λ=632.8nm;表面粗糙度优于0.5nm。